半導体ウエハ搬送ロボットへの適用
適用工程
クリーン環境下における半導体ウエハなどの薄型精密部品の搬送工程。
搬送装置の省スペース化や低コスト化が求められる中で、搬送用ハンドに近接覚センサーTK-01を組み込み、非接触で位置決め計測を行う用途。
導入前の課題
- クリーン環境下で搬送装置の省スペース化が求められる
- 薄型精密部品の位置決めには高い精度が必要
- 従来のセンサーでは狭い空間への設置が難しい
- 調整やティーチングに時間がかかる
- 位置決めの再現性確保が難しい
- 位置ずれが品質や歩留まりに影響する可能性がある
システム構成・仕様概要
"搬送用ハンドに薄型の近接覚センサーTK-01を埋め込み、非接触かつ高分解能な位置決め計測を可能にする。 TK-01は厚さ2.5mmの薄型センサーであり、従来のセンサーでは不可能だった狭い空間にも挿入できる。これにより、搬送対象に接触せずに位置を確認し、調整の再現性確保と工数削減を図ることができる。"
経営効果
- 非接触での高精度な位置決め
- 調整作業の再現性向上
- ティーチング時間の削減
- こまめなチェックの容易化
- 品質の安定化
- 歩留まり向上
- タクトタイムの向上
- 搬送装置の省スペース化への貢献